以緊湊的結(jié)構(gòu)確保滴液,可高精度控制回吸。液壓系統(tǒng)可防止化學(xué)液體在晶圓上噴吐不良等現(xiàn)象。
可根據(jù)流體粘度優(yōu)化定制設(shè)計(jì)。
以緊湊的結(jié)構(gòu)確保滴液,可高精度控制回吸。液壓系統(tǒng)可防止化學(xué)液體在晶圓上噴吐不良等現(xiàn)象。
可根據(jù)流體粘度優(yōu)化定制設(shè)計(jì)。
氣控閥一體型產(chǎn)品,可削減配管工時(shí)并實(shí)現(xiàn)緊湊化。