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以緊湊的結構確保滴液，可高精度控制回吸。液壓系統可防止化學液體在晶圓上噴吐不良等現象。可根據流體粘度優化定制設計。以緊湊的結構確保滴液，可高精度控制回吸。液壓系統可防止化學液體在晶圓上噴吐不良等現象。可根據流體粘度優化定制設計。氣控閥一體型
