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以緊湊的結(jié)構(gòu)確保滴液，可高精度控制回吸。液壓系統(tǒng)可防止化學(xué)液體在晶圓上噴吐不良等現(xiàn)象。可根據(jù)流體粘度優(yōu)化定制設(shè)計。以緊湊的結(jié)構(gòu)確保滴液，可高精度控制回吸。液壓系統(tǒng)可防止化學(xué)液體在晶圓上噴吐不良等現(xiàn)象。可根據(jù)流體粘度優(yōu)化定制設(shè)計。氣控閥一體型
